FEELTEK 2.5D リアフォーカス ダイナミックシステム FEシリーズ

製品の説明

FEELTEK FEシリーズ2.5Dリアフォーカスダイナミックシステムは、精密微細加工分野で好まれる装置です。355nm、532nm、1064nmの多波長光源と互換性があり、FE10、FE15、FE20の3モデルを備えており、異なる光通過開口部および加工シーンのニーズに対応できます。

本システムは一体化されたCNC構造を採用し、防塵・遮蔽設計を施しており、高温ドリフトを要する環境への適応としてオプションの水冷もサポートしています。デジタルパルス幅変調（PWM）駆動および光学ズーム技術により、高速応答とエッジチッピングの少ない加工を実現し、3Dトラジェクトリー加工や曲面穴あけが可能です。

深彫刻、小面積の微細穴加工、超微細マーキングなどの場面において、精度と効率に大きな利点があります。

製品の特徴

1. 高精度加工：優れた精度制御性 動的フォーカシング技術を採用しており、加工深度を調整する際に、動的軸が加工面の中心原点の焦点距離を協調的に補正し、リアルタイムで光スポットを最適化することで、従来のガルバノスキャナと比較してより高い精度を実現します。例えば、超微細マーキングの最小線幅は0.045mmに達し、ガラスへのドリリングや超硬材料への深彫刻などにおいても安定した加工の一貫性を維持できます。繰り返しマーキング精度は5～8μrad（P2バージョンで最適）であり、長期間サイクル（＞24時間）でのドリフトは≤0.1～0.2mradとされており、精密製造における精度安定性の厳しい要件を満たしています。
2. 高効率加工：自動生産に適応可能 動的軸はXY軸ソフトウェアと完全に連携しており、マイクロ秒単位で層別フォーカス補正が可能となり、処理効率が大幅に向上します。0.4mmのガラス穴あけ加工を例に挙げると、一度に64穴を処理するのにわずか225秒しかかかりません。光学系リフト構造を必要とせず、設計がシンプルで自動化生産ラインへの統合も容易です。これにより手作業の介在が減少し、工具逃がし彫刻や精密部品の穴あけなど、大量生産向けの微細加工ニーズに対応できます。
3. 優れた環境適応性：信頼性が高く耐久性のある構造 システム全体は一体化されたCNC構造を採用し、防塵およびシールド設計と組み合わせることで、複雑な工業環境に適応可能です。オプションの水冷に対応（冷却媒体：蒸留水＋腐食防止添加剤；作動温度：22-28℃；圧力：2-3bar；流量：4-6L/min）しており、極めて高い温度ドリフト要求のある環境下でも安定して動作します。デジタルPWMドライブ設計により、温度ドリフトの影響をさらに低減し、長時間にわたる安定した加工を実現します。
4. 複数のモデルとバージョン：柔軟な適応性 3つのモデルで異なるニーズに対応：光通過開口部が≤10mmのFE10、光通過開口部が≤15mmのFE15、および1064nm波長に重点を置いた光通過開口部が≤20mmのFE20。各モデルはStandard、Pro、P2の3つの性能バージョンを提供し、追尾誤差、温度ドリフト、マーキング速度などのパラメータを段階的に最適化しています。ユーザーは加工精度と効率の要件に応じて柔軟に選択できます。また、2X／2.66Xなど複数の入力倍率レベルの調整も可能で、多様なマイクロファブリケーションプロセスに対応します。

技術仕様

応用

1. 掘削
2. 深く彫刻
3. 超微細マーキング